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第109章 失踪的院士（第1页）

“小苏啊，我给你介绍一下，我们今天几个老家伙聚一聚，也就顺便把你叫过来了，是周末。当然，你们做公安工作可能周末也不得休息。

要是万一有什么情况，我一会让秘书给你们宁江省打个电话，

这几位呢你可能不认识，我旁边的这个是李耀华，上次和你讲过，是院士，我带过的第一个博士生！！”

于老说完，又指着旁边一个个子比较矮的人，身高也就1米6左右的老人，

“这位是贺云水贺院士，贺院士是科学院院士，半导体研究所的首席研究员，也是我的学生。

再旁边是李天东院士、这个是吴朝阳院士、李天东院士是北航大学的长聘教授和学科带头人，吴朝阳院士现在应该是京北大学的教授！”

说完这些，于老笑呵呵的又说：

“他们别的头衔我也记不得了，我们几个今天就是随便聚聚，另外找你来谈谈！”

苏武忙起身站起来，实话实说，在这么多大佬面前，他还是不敢托大的。

好家伙，不算于老这个两院院士和学部委员，

一下子请了4个院士，和自己谈话？

于老还是很和蔼，示意他不要紧张，坐下，开始了随便的‘’交流‘’。

于老看着几位比他辈分小的科研前辈，直接吩咐道；

“耀华，你先开始问，问点有难度的，有技术含量的，太简单的对他来说没有挑战性！”

李耀华也不客气，于是直接就问：

“小苏，我来问问一点前瞻性的课题，你能谈谈如何突破高性能微声薄膜滤波器，比如如何研究AlScN压电薄膜图形化的思路吗？”

于老一旁的秘书石蕴璞做记录，他本身就是华清大学电子工程系毕业的硕士研究生，对于这个问题，说实话，他不怎么了解。

听到这个问题，苏武愣了一下，

见此情况，秘书石蕴璞心里暗自窃喜，他觉得苏武一个大专毕业的根本不可能知道，

于老越是把苏武说的怎么厉害，倒让他产生了一种文人相轻的感觉！

实际上，苏武听了这个问题，心里很坦然，因为李耀华问的问题倒是他过去从事的方向之一，在2009年之前，这个问题一直没能突破。

但苏武那时候，AlScN微声薄膜的制备工业化已经很成熟了，他刚才稍微停顿了一下，似乎从石蕴璞的脸上看到一丝窃喜，故意多停顿了几秒，整理思路回答道；

“在AlScN微声薄膜滤波器的制作过程中，通常需要对薄膜进行两次图形化刻蚀操作，以我的了解，国内现在普遍采用剥离工艺，利用这种技术光刻出图像。

AlScN薄膜生长时，衬底温度会直接升高，而如果时间较长，光刻胶就会因高温碳化无法去除，导致剥离失败。

干法刻蚀的RIE是普通反应离子刻蚀，但因为离子浓度低，刻蚀速度慢，工艺调整空间小，时间一长光刻胶就碳化了。

ICP-RIE刻蚀速度快，是最佳选择，得控制和研究ICP-RIE的刻蚀过程，所以在AlScN压电薄膜图形化中，所以对国内的研究和应用发展来看，要多多研究光刻工艺中的曝光，显影以及固胶工艺参数对图形角度的影响.......”

于老的脸上露出了满意的笑容，不愧是我看中的人，没给我丢脸！

李耀华和其他几个院士都懵了，这小子是个天才吧，这怎么什么都知道？

石蕴璞彻底石化.......

.......

苏武不傻，他也想平凡正常一点，但是重生以来已经一切由不得他了。

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